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乙硼烷是半导体制造中用作硅材料的p型掺杂源,在半导体工业中得到广泛应用,用于半导体生产,硅和锗的外延生长、钝化、扩散和离子注入。随着大规模集成电路集成度的提高,对B2H6纯度的要求也越来越高。
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