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  • 三氟化硼
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商品描述
主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂,它可溶于水,在那里分解形成氟硼酸。 它在潮湿空气中水解。 它用作离子注入气体和CVD应用中的硼源。


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